ОЦЕНКА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОЧНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК ФОСФИДА ГАЛЛИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ОТДЕЛЯЕМОГО РОСТА В СИСТЕМЕ Sn- Ga / InP

Авторлар

  • В. С. Антощенко НИИ ЭТФ, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби
  • О. А. Лаврищев
  • Ю. В. Францев

Аңдатпа

Предложена методика расчета и проведена оценка толщины пленочных монокристаллических подложек фосфида галлия, сформированных методом отделяемого роста из раствора-расплава. Показана возможность выращивания матричных пленочных подложек толщиной менее 20 нанометров.

Жүктеулер

Журналдың саны

Нөмір 2008 № 3 (2008): KazNU Bulletin. Physics series

Бөлім

Plasma Physics

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

ОЦЕНКА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОЧНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК ФОСФИДА ГАЛЛИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ОТДЕЛЯЕМОГО РОСТА В СИСТЕМЕ Sn- Ga / InP. (2008). Хабаршы. Физика сериясы, 2008(3), 41-46. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/317