Свойства комплексной плазмы смеси газов в разряде переменного и постоянного тока

Аңдатпа

В данной работе представлены результаты исследований влияния смеси газов на параметры плазмы комбинированного RF+DC разряда. Экспериментально исследовались свойства комплексной плазмы в смеси газов в ВЧ разряде, с дополнительно приложенным постоянным электростатическим полем. Показано, что добавление тяжелого газа в более легкий газ, и дополнительное воздействие постоянного поля на ВЧ разряд приводят к изменениям пространственной характеристики буферной плазмы разряда и соответственно положения пылевой структуры.