Исследование температуры электронов в плазме тлеющего разряда при постоянном токе Ar и Ar/C2H2

Авторы

  • А.У. Утегенов Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0001-6768-0918
  • Ж.Е. Онайбергенов Институт прикладных наук и информационных технологий, г.Алматы, Казахстан; захский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0009-0008-2286-1406
  • A.Е. Абдрахманов Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0009-0003-7304-6894
  • С.А. Оразбаев Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0002-7286-9990
  • Т.С. Рамазанов Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0001-7172-8005

DOI:

https://doi.org/10.26577/RCPh.2024v90i3-04
        82 106

Ключевые слова:

пылевая плазма, температура электронов, PECVD, плазма с наночастицами, оптическая спектроскопия

Аннотация

В данной работе предоставлены результаты исследования температуры электронов в аргоновой и аргон-ацетиленовой плазме тлеющего разряда постоянного тока. Для определения основного параметра комплексной плазмы был использован оптик-эмиссионный метод. Зависимость температуры электронов от рабочего давления, напряжения и времени разряда определялась по интенсивности спектральных линий. Напряжение источника варьировалось от 1 кВ до 1,5 кВ, а давление поддерживалось между 0,1–1 торр. В зависимости от времени температура электронов рассчитывалось каждые 20 секунд в течение 200 секундного разряда. Результаты показали, что в аргоновой плазме с повышением давления температура электронов снижается до показателя давления 0,4 торр, последующее увеличение приводит к повышению температуры. Также с увеличением напряжения источника наблюдается снижение температуры электронов в пределах погрешности. Кроме этого, в пылевой плазме (PECVD в Ar-C2H2) температура электронов в зависимости от давления и напряжения источника имела тенденцию, аналогичную той, что наблюдалась в аргоновой плазме. Однако температура электронов в пылевой плазме в зависимости от времени в начальный момент повышается, после резко снижается с течением времени.

Биографии авторов

А.У. Утегенов , Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

автор-корреспондент, PhD, Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: almasbek@physics.kz

Ж.Е. Онайбергенов, Институт прикладных наук и информационных технологий, г.Алматы, Казахстан; захский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

студент бакалавриата, Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан, email: onajbergenovz@gmail.com

A.Е. Абдрахманов, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

PhD студент, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: azamat.abdrakhman06@gmail.com

С.А. Оразбаев , Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан

PhD, Казахский националь-ный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: sagi.orazbayev@gmail.com

Т.С. Рамазанов , Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан

докт.физ.-мат.наук, Академик НАН РК при Президенте РК, проф., Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: ramazan@physics.kz

Загрузки

Как цитировать

Утегенов , А. ., Онайбергенов, Ж. ., Абдрахманов A. ., Оразбаев , С. ., & Рамазанов , Т. . (2024). Исследование температуры электронов в плазме тлеющего разряда при постоянном токе Ar и Ar/C2H2. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 90(3), 2–37. https://doi.org/10.26577/RCPh.2024v90i3-04

Выпуск

Раздел

Физика плазмы

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)