Шығарылым туралы мәліметтерге оралу Ионный синтез и свойства пленок карбида кремния и углерода. Иондық синтез жəне көміртегі мен кремний карбиді пленкаларының қасиеттері Жүктеп алу PDF файлын жүктеп алу