Beisenkhanov NB, Beisembetov IK, Nussupov KK, et al. Ионный синтез и свойства пленок карбида кремния и углерода. Иондық синтез жəне көміртегі мен кремний карбиді пленкаларының қасиеттері. Rec.Contr.Phys. 2013;2013(3):27-36. Accessed July 13, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/96