Manakov, S. (2018) “Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H”, Хабаршы. Физика сериясы, 2012(1), pp. 3–7. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670 (Accessed: 20 July 2026).