Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H
Аннотация
Исследованы морфология и структурные свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния и аморфного карбида кремния. Установлено, что введение углерода в аморфную сетку кремния приводит к уменьшению среднего диаметра островков на поверхности пленок, увеличению шероховатости и к возрастанию нарушений структуры в области ближнего и среднего порядка.
Библиографические ссылки
1 M.A. Green, Progress in Photovoltaics: Research and Aplications, 14, 383-392 (2016).
2 A.A. Sherchenkov, V.G. Budagyan, FTP, 39(8), 964-969 (2006). (in Russ)
3 N. Wyrsch, S. Dunand, C. Miazza , et al., Phys. Stat.Sol. C 1, 1284-1281 (2004).
4 M. Marinov, N. Zotov, Phys. Rev.B 55, 2938-2944, (1997).
5 W.S. Wei, G.Y. Xu, J.L. Wang , et al., Vaccuum 21, 656-662 (2006).
2 A.A. Sherchenkov, V.G. Budagyan, FTP, 39(8), 964-969 (2006). (in Russ)
3 N. Wyrsch, S. Dunand, C. Miazza , et al., Phys. Stat.Sol. C 1, 1284-1281 (2004).
4 M. Marinov, N. Zotov, Phys. Rev.B 55, 2938-2944, (1997).
5 W.S. Wei, G.Y. Xu, J.L. Wang , et al., Vaccuum 21, 656-662 (2006).
Загрузки
Опубликован
2018-09-05
Выпуск
Раздел
Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
