Omarov, M. et al. (2012) “Получение тонких пленок SIC методом PECVD”, Хабаршы. Физика сериясы, 42(3), pp. 37–41. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704 (Accessed: 20 September 2026).