N. B. Beisenkhanov, “Ионный синтез и свойства пленок карбида кремния и углерода. Иондық синтез жəне көміртегі мен кремний карбиді пленкаларының қасиеттері”, Rec.Contr.Phys., vol. 2013, no. 3, pp. 27–36, Sep. 2013, Accessed: Jul. 14, 2026. [Online]. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/96