T. I. Taubayev, V. E. Nikulin, Y. T. Taubayev, and K. K. Dikhanbayev, “ФОРМИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ СЛОЁВ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ. КРЕМНИЙ ФОТОТҮРЛЕНГІШТЕРГЕ АРНАЛҒАН НАНОҚҰРЫЛЫМДЫ ЖАРҚЫНДАНДАЛҒАН ҚАБАТТАРДЫ ҚАЛЫПТАСТЫРУ ЖƏНЕ ОЛАРДЫҢ ОПТИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЗЕРТТЕУ”, Rec.Contr.Phys., vol. 2009, no. 4, pp. 73–77, Dec. 2009, Accessed: Jul. 14, 2026. [Online]. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/229