ФОРМИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ СЛОЁВ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ. КРЕМНИЙ ФОТОТҮРЛЕНГІШТЕРГЕ АРНАЛҒАН НАНОҚҰРЫЛЫМДЫ ЖАРҚЫНДАНДАЛҒАН ҚАБАТТАРДЫ ҚАЛЫПТАСТЫРУ ЖƏНЕ ОЛАРДЫҢ ОПТИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЗЕРТТЕУ
Ключевые слова:
процесс анодизации, анодизацияАннотация
Методом электрохимического анодирования на поверхности кремниевых полированных пластин с поверхностным сильнолегированным n+ слоем сформированы слои нанопористого кремния. Слои формировались при постоянном токе в процессе анодизации, и при токе, изменяющемся по определённому закону во времени. Электрохимическое анодирование проводилось как в стандартной ячейке, так и капиллярным методом. Исследована зависимость спектрального коэффициента отражения от режимов (плотности тока, времени травления, закона изменения плотности тока от времени) формирования слоя. Беттік күшті қоспаланған n+ қабаты бар кремний əрленген пластиналардың бетінде электрохимиялық əдісімен кремнийдің наноқұрылымды қабаттар қалыптастырылған. Қабаттар анодизация процесі кезінде тұрақты ток болғанда жəне ток белгілі заңы бойынша өзгергенде қалыптастырылған. Электрохимиялық анодизациясы стандартты ұяшықта жəне капиллярлық əдісімен өткізілген. Шағылудың спектрлік коэффициентінің қабатының қалыптастыру режимдерінен зерттелген (ток тығыздығы, уландыру уақыты, токтың тығыздығы уақыт бойынша өзгеруі).Библиографические ссылки
1. Strehlke S., Bastide S., Lévy-Clément C. Optimization of porous silicon reflectance for silicon photovoltaic cells // Solar Energy Materials & Solar Cells. – 1999. – Vol. 58, No 4. – pp. 399- 409.
2. Yerokhov V., Melnyk I., Tsisaruk A. and Semochko I. Porous silicon in solar cell structures // Opto-Electronics Review. – 2000. – Vol. 8, No. 4. – pp. 414-417.
3. Fauchet P. Porous Polycrystalline Silicon Thin Film Solar Cells // Final Report of National Renewable Energy Laboratory. – 2003. – NREL/SR-520-34824. – 20 p.
4. Якобсон Р. Неоднородные и совместно напыленные однородные пленки для оптических применений. – Физика тонких пленок. – М.: «Мир», 1978, Т. 8. – с. 61 – 105.
5. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Т. IV. Оптика. – М.: Физматлит, 2005. – с. 444.
6. Aspnes D.E., Theeten J.B., Hottier F. Investigation of effective-medium models of microscopic surface roughness by spectroscopic ellipsometry // Phys. Rev. B. – 1979. – Vol. 20, No. 8. – pp. 3292-3302.
7. Silicon Nanophotonics: Basic Principles, Present Status and Perspectives // Khriachtchev L., Editor. – New York: Pan Stanford Publishing, 2008 – p. 248.
8. Bruggeman D.A.G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen. I. Dielektrizitätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Annalen der Physic. – 1935. – Vol. 416, Iss. 7. – pp. 636-664.
9. Theisz W. Optical properties of porous silicon // Surface Science Reports. – 1997. – Vol. 29, No 3-4. – pp. 91-192.
10. Nikulin V.E., Sarsembinov Sh.Sh. and Taurbayev Y.T. Gradient-index Antireflection Coatings for Silicon: Modeling and Optimization // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. – Tomsk, Russia. – 2008. – pp.
483-486.
2. Yerokhov V., Melnyk I., Tsisaruk A. and Semochko I. Porous silicon in solar cell structures // Opto-Electronics Review. – 2000. – Vol. 8, No. 4. – pp. 414-417.
3. Fauchet P. Porous Polycrystalline Silicon Thin Film Solar Cells // Final Report of National Renewable Energy Laboratory. – 2003. – NREL/SR-520-34824. – 20 p.
4. Якобсон Р. Неоднородные и совместно напыленные однородные пленки для оптических применений. – Физика тонких пленок. – М.: «Мир», 1978, Т. 8. – с. 61 – 105.
5. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Т. IV. Оптика. – М.: Физматлит, 2005. – с. 444.
6. Aspnes D.E., Theeten J.B., Hottier F. Investigation of effective-medium models of microscopic surface roughness by spectroscopic ellipsometry // Phys. Rev. B. – 1979. – Vol. 20, No. 8. – pp. 3292-3302.
7. Silicon Nanophotonics: Basic Principles, Present Status and Perspectives // Khriachtchev L., Editor. – New York: Pan Stanford Publishing, 2008 – p. 248.
8. Bruggeman D.A.G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen. I. Dielektrizitätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Annalen der Physic. – 1935. – Vol. 416, Iss. 7. – pp. 636-664.
9. Theisz W. Optical properties of porous silicon // Surface Science Reports. – 1997. – Vol. 29, No 3-4. – pp. 91-192.
10. Nikulin V.E., Sarsembinov Sh.Sh. and Taurbayev Y.T. Gradient-index Antireflection Coatings for Silicon: Modeling and Optimization // Proceedings of 9th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. – Tomsk, Russia. – 2008. – pp.
483-486.
Загрузки
Выпуск
Раздел
Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
