S. Manakov, “Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H”, Rec.Contr.Phys., vol. 40, no. 1, pp. 3–7, Sep. 2018, Accessed: Sep. 11, 2026. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670