Manakov, S.M. “Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H”. Хабаршы. Физика сериясы, vol. 2012, no. 1, Sept. 2018, pp. 3-7, https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670.