Manakov, S.M. “Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H”. Хабаршы. Физика сериясы 2012, no. 1 (September 5, 2018): 3–7. Accessed July 16, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670.