Yurov, V.M. “Толщина поверхностного слоя пористого кремния”. Хабаршы. Физика сериясы 72, no. 1 (March 27, 2020): 60–66. Accessed September 12, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1231.