Beisenkhanov NB, Beisembetov IK, Nussupov KK, Zharikov SK, Kenzhaliev BK, Akhmetov TK, et al. Ионный синтез и свойства пленок карбида кремния и углерода. Иондық синтез жəне көміртегі мен кремний карбиді пленкаларының қасиеттері. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2013 Sep. 27 [cited 2026 Jul. 14];2013(3):27-36. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/96