Taubayev TI, Nikulin VE, Taubayev YT, Dikhanbayev KK. ФОРМИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ СЛОЁВ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ. КРЕМНИЙ ФОТОТҮРЛЕНГІШТЕРГЕ АРНАЛҒАН НАНОҚҰРЫЛЫМДЫ ЖАРҚЫНДАНДАЛҒАН ҚАБАТТАРДЫ ҚАЛЫПТАСТЫРУ ЖƏНЕ ОЛАРДЫҢ ОПТИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЗЕРТТЕУ. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2009 Dec. 5 [cited 2026 Jul. 14];2009(4):73-7. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/229