Manakov S. Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2018 Sep. 5 [cited 2026 Sep. 11];40(1):3-7. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670