Manakov S. ИЗУЧЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК a-Si:H и a-SiC:H. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2011 Jun. 24 [cited 2026 Sep. 11];35(4):61-6. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1004