ИЗУЧЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК a-Si:H и a-SiC:H
Аннотация
Исследованы оптические и структурные свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния и аморфного карбида кремния. Приведена методика определения оптических характеристик пленок и продемонстрирована ее эффективность для однородных пленок. Показано, что введение в аморфную сетку углерода приводит не только к увеличению оптической ширины запрещенной зоны, но и к возрастанию структурных нарушений в области ближнего и среднего порядка.
Библиографические ссылки
1. S.Y.Myong, K.S.Lim, J.M.Pears. Double amorphous silicon-carbide p-layer structures producing highly stabilized pin-type protocrystalline multilayer solar cells // Applied Physics Letters, Vol.87, 193509 (2005).
2. N.M.Liao, W.Li, Y.J.Kuang, Y.D.Jiang, S.B.Li, Z.M.Wu, K.C.Qi. Raman and ellipsometric characterization of hydrogenated amorphous silicon thin films // Science China Series E: Technological Sciences, Vol. 52, pp. 339-343 (2009).
3. K.S.Lim, O.Shevaleevskiy. Nanocrystalline silicon carbide films for solar photovoltaics: The role of dangling-bond defects // Pure Appl.Chem., Vol.80, pp. 2141-2150, (2008).
4. R. Swanepoеl. Determination of optical constants of amorphous silicon // J. Phys. E.: Sci. Instrum. Vol. 16, рp.1214-122, (1983).
5. Физика аморфного гидрогенизированного кремния. - Выпуск I, II. Под ред. Дж. Джоунополуса и Дж. Люковский. Перевод с англ. М., Мир, 1987.
6. B.S.Richard, A.B.Sproul, A.Lambertz. Optical characterization of sputtered silicon thin films on glass // Journal of Thin Solid Films, 460, pp. 247-255, (2004).
7. C.М.Манаков. Скорость роста и однородность пленок аморфного кремния, выращенных методом магнетронного реактивного распыления // Вестник КазНУ, серия физичес., 2005. - С.59-63.
8. M.Marinov, N.Zotov. Model investigation of the Raman spectra of amorphous silicon // Phys.Rev.B., Vol.55, pp.2938-2944, (1997).
9. W.S.Wei, G.Y.Xu, J.L.Wang, et al. Raman spectra of intrinsic and doped hydrogenated nanocrystalline silicon films // Vaccuum, Vol.21, pp. 656-662, (2007).
2. N.M.Liao, W.Li, Y.J.Kuang, Y.D.Jiang, S.B.Li, Z.M.Wu, K.C.Qi. Raman and ellipsometric characterization of hydrogenated amorphous silicon thin films // Science China Series E: Technological Sciences, Vol. 52, pp. 339-343 (2009).
3. K.S.Lim, O.Shevaleevskiy. Nanocrystalline silicon carbide films for solar photovoltaics: The role of dangling-bond defects // Pure Appl.Chem., Vol.80, pp. 2141-2150, (2008).
4. R. Swanepoеl. Determination of optical constants of amorphous silicon // J. Phys. E.: Sci. Instrum. Vol. 16, рp.1214-122, (1983).
5. Физика аморфного гидрогенизированного кремния. - Выпуск I, II. Под ред. Дж. Джоунополуса и Дж. Люковский. Перевод с англ. М., Мир, 1987.
6. B.S.Richard, A.B.Sproul, A.Lambertz. Optical characterization of sputtered silicon thin films on glass // Journal of Thin Solid Films, 460, pp. 247-255, (2004).
7. C.М.Манаков. Скорость роста и однородность пленок аморфного кремния, выращенных методом магнетронного реактивного распыления // Вестник КазНУ, серия физичес., 2005. - С.59-63.
8. M.Marinov, N.Zotov. Model investigation of the Raman spectra of amorphous silicon // Phys.Rev.B., Vol.55, pp.2938-2944, (1997).
9. W.S.Wei, G.Y.Xu, J.L.Wang, et al. Raman spectra of intrinsic and doped hydrogenated nanocrystalline silicon films // Vaccuum, Vol.21, pp. 656-662, (2007).
Загрузки
Опубликован
2011-06-24
Выпуск
Раздел
Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
