Opakhay S. Қатты оксидті отын элементтері электролиті үшін YSZ пленкасын тұндырудың физикалық әдістері. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2020 Mar. 28 [cited 2026 Jul. 19];2020(1):73-80. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1217