КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ.  ҚАТТЫ ДЕНЕЛІ МАТЕРИАЛДЫРДЫ КҮЙРЕТПЕЙ НАНОМЕТІРЛІК АЙЫРУ ҚАБІЛЕТІМЕН ҚАРАПАЙЫМ ТАЛДАЙТЫН ЖИЫНТЫҒЫ

F. F. Komarov; A. S. Kamyshan; V. V. Danilevich; E. B. Boiko; A. I. Kupchishin; A. K. Togambayeva

Авторы

F. F. Komarov Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
A. S. Kamyshan Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
V. V. Danilevich Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
E. B. Boiko Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
A. I. Kupchishin НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби
A. K. Togambayeva НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби

Ключевые слова:

ион

Аннотация

Разработан измерительный комплекс для элементного анализа материалов, позволяющий регистрировать спектры резерфордовского обратного рассеяния легких ионов с энергетическим разрешением 1,3 %, что соответствует минимальной толщине регистрируемого слоя 1–1,5 нм. Основным элементом комплекса является цилиндрический электростатический анализатор ионов с неоднородным полем. 1–1,5 нм ең аз тізімдеу қалыңдығына сəйкес келетін қатты денелі материалдырды 1,3% энергетикалық қабілетімен резерфорд қайта шашыранды жеңіл иондар спектірін тіркейтін элементтік талдайтын өлшеу жиынтығы жасап шығарылды. Комплекстін негізгі элементі бір текті емес өрісті жұмыр электростатиқалық ион анализаторы.