Свойства комплексной плазмы смеси газов в разряде переменного и постоянного тока.    Айнымалы және тұрақты ток газдар қоспасы разрядындағы комплексті плазманың қасиеттері

M. K. Dosbolayev; A. U. Utegenov; T. S. Ramazanov

Авторы

M. K. Dosbolayev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, НИИ экспериментальной и теоретической физики
A. U. Utegenov
T. S. Ramazanov

Ключевые слова:

высокочастотный разряд, смесь газов, жоғары жиілікті сыйымдылықты разряд, газдар қоспасы, біріккен жоғары жиілікті және тұрақты токты разряд,

Аннотация

В данной работе представлены результаты исследований влияния смеси газов на параметры плазмы комбинированного RF+DC разряда. Экспериментально исследовались свойства комплексной плазмы в смеси газов в ВЧ разряде, с дополнительно приложенным постоянным электростатическим полем. Показано, что добавление тяжелого газа в более легкий газ и дополнительное воздействие постоянного поля на ВЧ разряд приводят к изменениям пространственной характеристики буферной плазмы разряда и, соответственно, положения пылевой структуры. Берілген жұмыста газ қоспасының RF+DC біріккен разрядының параметрлеріне әсерін зерттеу нәтижелері келтірілген. Қосымша тұрақты ток қосылған жоғары жиілікті газ қоспасы разрядында түзілген клмплексті плазманың қасиеттері эксперименттік түрде зерттелді. Ауыр газды жеңіл газға қосқан кезде және ЖЖ разрядқа қосымша тұрақты ток беру арқылы разрядтың буферлі плазмасының кеңістік бойынша сипаттамалары, сәйкесінше тозаңды құрылымның орны өзгеретіні көрсетілген