Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений

A. Zhukeshov; A. Gabdullina; S. Pak; A. Amrenova; A. Kaibar; S. Кulzhanova; K. Kurmanbaev

Авторы

A. Zhukeshov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Gabdullina НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
S. Pak НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Amrenova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Kaibar НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
S. Кulzhanova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
K. Kurmanbaev НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы

Ключевые слова:

плазменные технологии, метод вакуумного напыления, вакуумная установка

Аннотация

В статье рассмотрены принципы разработки вакуумных систем для применения в плазменных технологических процессах. Показаны преимущества импульсной плазменной обработки и методов вакуумного плазменного напыления. Рассматриваются основные приемы автоматизации и коммутации вакуума