Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений
Ключевые слова:
плазменные технологии, метод вакуумного напыления, вакуумная установкаАннотация
В статье рассмотрены принципы разработки вакуумных систем для применения в плазменных технологических процессах. Показаны преимущества импульсной плазменной обработки и методов вакуумного плазменного напыления. Рассматриваются основные приемы автоматизации и коммутации вакуума
Библиографические ссылки
1 A. Zhukeshov, Journal of Physics. Conference series, 63, 012014 (2007).
2 A.I. Morozov Vvedeniye v plazmodinamiku, (Moscow, Fizmatlit, 2006), 560 s. (in Russ)
3 B.M. Ibraev, Journal of Engeneering Thermophysics, 12, 183-190 (2003).
2 A.I. Morozov Vvedeniye v plazmodinamiku, (Moscow, Fizmatlit, 2006), 560 s. (in Russ)
3 B.M. Ibraev, Journal of Engeneering Thermophysics, 12, 183-190 (2003).
Загрузки
Опубликован
2018-09-05
Выпуск
Раздел
Физика плазмы