Исследование и оптимизация оптических и электрических свойств плёнок оксида индия-олова, полученных методом магнетронного напыления при различных потоках кислорода
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v73.i2.05Ключевые слова:
прозрачные проводящие пленки, оксид индия олова, магнетронное напыление, гетеропереходной кремниевый солнечный элемент, transparent conductive films, indium tin oxide, magnetron sputtering, heterojunction silicon cell., мөлдір өткізгіш қабықша, индий-қалайы оксиді, магнетронды шашырау, гетеро ауысу кремний күн элементіАннотация
Оксид индия-олова является широко используемым материалом в современной оптике и электронике и имеет обширную область применения от антиотражающих покрытий до жидкокристаллических дисплеев. Данная работа посвящена применению плёнок оксида индия-олова в области солнечной энергетики. Плёнки были получены с помощью магнетронного напыления (PVD – physical vapour deposition). Оптимизация режимов синтеза плёнок является одной из важнейших задач для солнечной фотовольтаики. В данной работе показаны результаты исследования влияния потоков кислорода в процессе синтеза на стекле пленок оксида индия-олова, полученных методом магнетронного напыления, а также влияние толщин полученных пленок на их оптические и электрические свойства. Оптические свойства представлены в виде спектров пропускания. Электрические свойства представлены в виде результатов измерений удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей и их взаимосвязи со скоростью движения образцов, толщины и потока кислорода. Было выявлено, что характеристики пленок оксида индия-олова зависят от потоков кислорода, а также от толщины самих пленок. В качестве оптимизации технологического процесса был выбран отжиг пленок при температуре 300о С.
