Манипуляция пылевыми частицами в комбинированном RF+DC разряде
Ключевые слова:
пылевая плазма, высокочастотный разряд, метод частиц в ячейках, метод Монте-КарлоАннотация
В данной работе проведены эксперимент и кинетическое моделирование на основе метода частиц в ячейках для получения равновесного положения пылевых частиц в комбинированном высокочастотном разряде при наложении постоянного тока. Результаты расчетов сравнивались с экспериментальными данными. Получено общее хорошее согласие экспериментальных и расчетных значений высоты левитации пылевого слоя для всех наборов данных при различных давлениях газа и межэлектродной длины. Это, в свою очередь, подтверждает, что данная модель и его реализация в коде, а также балансовые модели зарядки и силы, достаточно хорошо описывают плазму и пылевую систему. Результаты показывают, что внешние смещения постоянного напряжения обеспечивают прочный контроль над положением пылевого слоя.
