Способ сепарации полидисперсных частиц в плазме высокочастотного разряда. Жо ға ры жиі лік ті раз ряд плаз ма сын да по ли дис перс ті бөл шек тер ді се па ра ция лау әді сі

Аннотация

В данной работе рассматривается метод сепарации полидисперсных пылевых частиц в плазме высоко частотного емкостного разряда для получения монодисперсных и мелкодисперсных частиц. Принципиальным отличием предлагаемого метода сепарации от существующих методов сепарации является то, что в качестве инструмента сепарации используется эквипотенциальное поле плазмы высокочастотного емкостного разряда. Простота технологии позволяет получать сепарированные мелкодисперсные и монодисперсные частицы различных материалов. На основе разработанного метода сепарации полидисперсных частиц в плазме высокочастотного емкостного разряда были получены монодисперсные нано -и микрочастицы со средними размерами 600 нм и 5 мкм. Метод сепарации полидисперсных частиц осуществляется с помощью специальной конфигурации нижнего электрода высокочастотного емкостного разряда с электроловушкой, которая позволяет управлять эквипотенциальное поле плазмы высоко частотного емкостного разряда. Таким образом, контролируя поле плазмы и параметры разряда, были получены мелкодисперсные частицы оксида алюминия и оксида кремния. Анализ полученных образцов проводился на сканирующем электронном микроскопе Quanta 3D 200i (FEI company, USA) на морфологию, химический состав. На основе графических и математических расчетов были построены графики распределения частиц по размерам. Атал ған жұ мыс та по ли дис перс ті то заң ды бөл шек тер ден жо ға ры жиі лік ті раз ряд плаз ма сын да мо но дис перс ті жә не ұсақ дис пе рс ті бөл шек тер ді елек теп бө ліп алу (се па ра ция лау) әді сі қа рас ты рыл- ған. Бұл елек теп бө ліп алу әді сі нің қол да ныс та ғы жүр ген әдіс тер ден айыр ма шы лы ғы жо ға ры жиі лік- ті сый ым ды лық ты раз ряд плаз ма сы ның эк ви по тен циальды өрі сін елек теу ас па бы ре тін де қол да ну. Атал ған тех но ло гия әрі қа ра пай ым жә не әр түр лі ма те ри ал дар дың мо но дис перс ті жә не ұсақ дис пе- рс ті бөл шек те рін алу ға мүм кін дік бе ре ді. Мұн да жо ға ры жиі лік ті сый ым ды лық ты раз ряд плаз ма сы- ның эк ви по тен цальды өрі сін бас қа ру ға бо ла тын электр лік тұ за ғы бар тө мен гі элект род тың ар найы фор ма сы по ли дис перс ті бөл шек тер ді елек теп бө ліп алу ға қол да ны ла ды. Со ны мен, плаз ма өрі сі мен раз ряд па ра ме тр ле рі нің өз гер туі ар қы лы алю ми ний ок си ді мен крем ний ок си ді нің ұсақ дис пе рс ті бөл шек те рі алын ды. Бұл по ли дис перс ті бөл шек тер ді жо ға ры жиі лік ті сый ым ды лық ты раз ряд плаз- ма сын да елек теп алу әді сі не гі зін де ор та ша өл шем де рі 600 нм жә не 5 мкм бо ла тын мо но дис перс ті на но- жә не мик ро бөл шек те рі нің үл гі ле рі алын ды. Жә не де, ска нер лі элект рон дық мик рос коп Quanta 3D 200i (FEI company, USA) кө ме гі мен алын ған үл гі лер дің хи миялық құ ра мы мен бет тік құ ра мы зерт- тел ді. Гра фи ка лық жә не ма те ма ти ка лық есеп теу лер не гі зін де бөл шек тер дің өл шем де рі бой ын ша та- ра лу ла ры алын ды.