Структура и физико-механические свойства многоэлементных покрытий (Ti-Zr-Cr-Nb)N, полученных вакуумно-дуговым осаждением
Ключевые слова:
покрытия, вакуумно-дуговое осаждение, нитрид, твердость, износ, микроструктураАннотация
Исследованные многокомпонентные нитридные покрытия (Ti-Zr-Cr-Nb)N в данной работе были получены с использованием хорошо развитого метода вакуумно-дугового осаждения. Теоретические и экспериментальные исследования показывают, что химический состав, микроструктура и физико-механические свойства покрытий тесно опирается на параметры осаждения (давление рабочего газа и потенциала смещения на подложке). Микроструктура и физико-механические свойства (Ti-Zr-Cr-Nb)N покрытий были исследованы с помощью сканирующего электронного микроскопа (РЭМ), оснащенный приставкой энергодисперсионного микроанализа и рентгеноструктурного анализа (РСА). Толщина покрытий достигла 6,8 мкм, а значения твердости, обусловливающей напряжения, превышающие когезионную прочность покрытия, составило - H=43,7 ГПа. Были изучены механические и фрикционные свойства многоэлементных покрытий. Фазовый анализ нитридных покрытий (Zr-Ti-Cr-Nb) N указывает на наличие фаз TiN, NbTiN2, ZrTiNb, ZrNb, TiCr и α-Ti. Полученные экспериментальные результаты по изучению (Ti-Zr-Cr-Nb)N покрытия представляются перспективными и могут быть применены в качестве защитных и износостойких покрытий для режущих инструментов и конструкционных материалов.
