Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления

M.Zh. Buranbaev; Zh.A. Entibekov; O.E. Kaipoldayev; A.M. Derbissalin

Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления

Авторы

M.Zh. Buranbaev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
Zh.A. Entibekov Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
O.E. Kaipoldayev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
A.M. Derbissalin Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы

Ключевые слова:

углеродные пленки, ионно-плазменное напыление, кремниевая подложка, фазовый состав

Аннотация

Методом ионно-плазменного напыления получены углеродные пленки. Рассмотрен фазовый состав, внутреннее строение, морфология поверхности, измерена толщина слоя полученных пленок

Загрузки

Опубликован

25.03.2012

Выпуск

Том 2012 № 1 (2012): Вестник КазНУ. Серия физическая

Раздел

Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука

Как цитировать

[1]

M. Buranbaev, Z. Entibekov, O. Kaipoldayev, и A. Derbissalin, «Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления», Rec.Contr.Phys., т. 2012, вып. 1, сс. 12–15, мар. 2012, просмотрено: 9 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/672