Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений

Авторы

  • A. Zhukeshov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Gabdullina НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • S. Pak НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Amrenova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Kaibar НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • S. Кulzhanova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • K. Kurmanbaev НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы

Ключевые слова:

плазменные технологии, метод вакуумного напыления, вакуумная установка

Аннотация

В статье рассмотрены принципы разработки вакуумных систем для применения в плазменных технологических процессах. Показаны преимущества импульсной плазменной обработки и методов вакуумного плазменного напыления. Рассматриваются основные приемы автоматизации и коммутации вакуума

Загрузки

Опубликован

05.09.2018

Выпуск

Том 2012 № 1 (2012): Вестник КазНУ. Серия физическая

Раздел

Физика плазмы

Как цитировать

Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений. (2018). Recent Contributions to Physics, 2012(1), 28-31. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/676

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)