Наноструктурные многофазные покрытия и их свойства
Ключевые слова:
ионно-плазменное напыление, микротвердость, многофазные покрытия, электронная микроско-пия, атомно-силовая микроскопияАннотация
В работе приведены результаты исследований многофазных покрытий, полученных ионно-плазменным методом. Обнаружена корреляция между фрактальной размерностью и микротвердостью покрытия. Показано влияние технологических параметров нанесения покрытий на их структуру и поверхностное натяжение. Определены оптимальные параметры технологии нанесения покрытий с точки зрения их практического использования.
