Influence of gas mixtures on complex plasmas parameters in rf and dc discharges

M.K. Dosbolayev; A.U. Utegenov; T.S. Ramazanov

Авторы

M.K. Dosbolayev НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A.U. Utegenov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
T.S. Ramazanov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы

Ключевые слова:

высокочастотный разряд, смесь газов

Аннотация

В данной работе представлены результаты исследований влияния смеси газов на параметры плазмы комбинированного RF+DC разряда. Экспериментально исследовались свойства комплексной плазмы в смеси газов в ВЧ разряде, с дополнительно приложенным постоянным электростатическим полем. Показано, что добавление тяжелого газа в более легкий газ, и дополнительное воздействие постоянного поля на ВЧ разряд приводят к изменениям пространственной характеристики буферной плазмы разряда и соответственно положения пылевой структуры.