Duraia ESMA, Tokmoldin SZ, Aytmukan T, Glazman V, Mansurov ZA, Nikitin A. ВЛИЯНИЕ СКОРОСТИ ГАЗОВОГО ПОТОКА И ДАВЛЕНИЯ НА УНТ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ MPECVD. Rec.Contr.Phys. 2009;2009(2):23-32. просмотрено июль 14, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/188