Beisenkhanov N. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. Rec.Contr.Phys. 2008;2008(3):99-105. просмотрено июль 13, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495