Manakov S. Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. Rec.Contr.Phys. 2018;2012(1):3-7. просмотрено июль 13, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670