Manakov S. ИЗУЧЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК a-Si:H и a-SiC:H. Rec.Contr.Phys. 2011;2011(4):61-66. просмотрено июль 5, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1004