Omarov, M. и др. (2012) «Получение тонких пленок SIC методом PECVD», Вестник. Серия физическая, 42(3), сс. 37–41. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704 (просмотрено: 11 сентябрь 2026).