[1]
N. B. Beisenkhanov, «Ионный синтез и свойства пленок карбида кремния и углерода. Иондық синтез жəне көміртегі мен кремний карбиді пленкаларының қасиеттері», Rec.Contr.Phys., т. 2013, вып. 3, сс. 27–36, сен. 2013, просмотрено: 13 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/96