N. Beisenkhanov, «СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ», Rec.Contr.Phys., т. 2008, вып. 3, сс. 99–105, ноя. 2008, просмотрено: 14 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495