S. Manakov, «Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H», Rec.Contr.Phys., т. 2012, вып. 1, сс. 3–7, сен. 2018, просмотрено: 16 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670