M. Omarov, O. Prikhodko, V. Klimenov, T. Aitmukan, B. Alpysbayeva, и I. Nevmerzhitsky, «Получение тонких пленок SIC методом PECVD», Rec.Contr.Phys., т. 2012, вып. 3, сс. 37–41, сен. 2012, просмотрено: 13 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704