КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӨМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҰҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫ

Аңдатпа

NC/NSi = 0.12 көміртегі концентрациясы ендірілген Si қабатының құрылымы, фазалық және элементтік құрамы оже-электрондық спектроскопия, рентгендік дифракция, инфрақызыл спектроскопия және атомдық-күштік спектроскопия тәсілдері арқылы зерттелінеді. 720-830 аралығында басым болған Si-C байланыс түрлерінің кристалдану процестерің және ИК-өткізудің жоғарғы шың орнының арасындағы озара байланысы көрсетілген. SiC_0.12 қабатында тетраэдрлік Si-C байланыстарының ұлғаюы температурасы 1200°С-дан жоғары кезінде берік оптикалық белсенді емес көміртегі кластерлерінің ыдырау себебінен болатыны көрсетілген. Ендіруден және жоғары температуралық күйдіруден кейін бет құрылымының өзгерісі зерттелінді.