Взаимодействие пористого материала с высокочастотной плазмой
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.05Ключевые слова:
разряд низкого давления, модификация поверхностиАннотация
Воздействие плазмы на материал осуществляется в результате ряда комплексов, взаимосвязанных процессов энерго-, массо- и перезарядки частиц плазмы с подложкой. Результатом таких взаимодействий является десорбция атомов и молекул с подложки, распыление и испарение материала в виде частиц, а также изменение структуры и фазового состояния. Во время плазменной обработки материалы взаимодействуют с активными и неактивными частицами плазмы, имеющими высокую кинетическую или потенциальную энергию. Доказано, что существуют физическое и химическое взаимодействие частиц, где при этом физическое взаимодействие частиц происходит, в основном, за счёт кинетической энергии, которая может на несколько порядков превышать тепловую энергию. Заряженные частицы также обладают высокой потенциальной энергией, так называемой энергией рекомбинации. В связи с этим частицы при столкновении с физически твёрдым материалом могут распылять твёрдый материал.
В данной статье представлены результаты исследования низкотемпературных модификационных взаимодействий с пористым материалом. Используются малоэнергетические источники индукционных и ёмкостных радиочастотных разрядов при давлении 0,1 - 2 торр. Объектами исследований являются образования модифицированных углеродных сорбентов.
Библиографические ссылки
2. I. Shaihiev, O. Galblaub, S. Stepanova, and G. Timirbaeva, Process Safety and Environmental Protection, 101, 88–92 (2016).
3. I. Gafarov, I. Abdullin, R. Ibragimov, V. Paroshin, and O.V. Zaitseva, Modification Sorbents of High-frequency Capacitive Plasma of Low Pressure, 5th Central European Symposium on Plasma Chemistry, Balatonalmadi, Hungary, 25-29 August 2013, p.109 (2013).
4. I. Gafarov, G. Paskalov, and I. Abdullin, Surface Activation of Sorbents by Using RF Plasma at Reduced Pressure, I, 9th International Conference оn Plasma Assisted Technologies, ICPAT-9, 23-26 June, 2014, St.-Petersburg, Russia, pp.54-57 (2014).
