Сравнение методик атомно-силовой микроскопии при исследовании аморфных углеродных пленок
Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, полуконтактная и контактная методики, адгезия пленки, измерение толщины, выбор метода, погрешностьАннотация
В работе представлены результаты исследования аморфной углеродной пленки методами атомно-силовой микроскопии. Рассмотрены принципы основных методик измерений и параметры, определяющие латеральное разрешение и разрешение по оси z, а также особенности различных типов зондов. Проведено сравнение и выявлены особенности применения полуконтактной и контактной методик при исследовании мягких пленок с низкой адгезией. Показано, что при выборе метода сканирования атомно-силовой микроскопии всегда необходимо учитывать множество факторов – в первую очередь, это особенности образца и информация, которую необходимо извлечь в результате измерений. Если образец достаточно жесткий и необходимо провести точные измерения, то рекомендуется использовать мягкий зонд с длинной балкой в контакте. В случае «сложных» образцов – мягких, с сильно развитой поверхностью и плохой адгезией, применяется метод полуконтакта.
Рассмотрен метод измерения толщины пленки и проведен анализ погрешности с учетом выбранного режима измерений. Погрешность измерений толщины с использованием полуконтактного зонда и контактной методики составила 15 нм. В то же время, полуконтактный метод позволил без повреждения поверхности исследуемого образца получить четкое изображение и корректно оценить глубину царапины.
Библиографические ссылки
2. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. – РАН, г.Нижний Новгород, 2004. – 114 c.
References
1. General tutorial: Atomic force microscopy. www.pacificnanotech.com
2. V.L. Mironov Osnovy skaniruyushchey zondovoy mikroskopii. – RAN, g.Nizhniy Novgorod, 2004. – 114 s. (in russ).
