А study of morphology and structural properties of a-Si:H and a-SiC:H films

Abstract

Исследованы морфология и структурные свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния и аморфного карбида кремния. Установлено, что введение углерода в аморфную сетку кремния приводит к уменьшению среднего диаметра островков на поверхности пленок, увеличению шероховатости и к возрастанию нарушений структуры в области ближнего и среднего порядка.