КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ. ҚАТТЫ ДЕНЕЛІ МАТЕРИАЛДЫРДЫ КҮЙРЕТПЕЙ НАНОМЕТІРЛІК АЙЫРУ ҚАБІЛЕТІМЕН ҚАРАПАЙЫМ ТАЛДАЙТЫН ЖИЫНТЫҒЫ

Авторлар

  • F. F. Komarov Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
  • A. S. Kamyshan Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
  • V. V. Danilevich Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
  • E. B. Boiko Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
  • A. I. Kupchishin НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби
  • A. K. Togambayeva НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби

Кілт сөздер:

ион

Аңдатпа

Разработан измерительный комплекс для элементного анализа материалов, позволяющий регистрировать спектры резерфордовского обратного рассеяния легких ионов с энергетическим разрешением 1,3 %, что соответствует минимальной толщине регистрируемого слоя 1–1,5 нм. Основным элементом комплекса является цилиндрический электростатический анализатор ионов с неоднородным полем. 1–1,5 нм ең аз тізімдеу қалыңдығына сəйкес келетін қатты денелі материалдырды 1,3% энергетикалық қабілетімен резерфорд қайта шашыранды жеңіл иондар спектірін тіркейтін элементтік талдайтын өлшеу жиынтығы жасап шығарылды. Комплекстін негізгі элементі бір текті емес өрісті жұмыр электростатиқалық ион анализаторы.

Жүктеулер

Журналдың саны

Бөлім

Plasma Physics

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Осы автордың (немесе авторлардың) ең көп оқылатын мақалалары