Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений

Авторлар

  • A. Zhukeshov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Gabdullina НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • S. Pak НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Amrenova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • A. Kaibar НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • S. Кulzhanova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • K. Kurmanbaev НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы

Кілт сөздер:

плазменные технологии, метод вакуумного напыления, вакуумная установка

Аңдатпа

В статье рассмотрены принципы разработки вакуумных систем для применения в плазменных технологических процессах. Показаны преимущества импульсной плазменной обработки и методов вакуумного плазменного напыления. Рассматриваются основные приемы автоматизации и коммутации вакуума

Жүктеулер

Жарияланды

2018-09-05

Журналдың саны

Нөмір 2012 № 1 (2012): KazNU Bulletin. Physics series

Бөлім

Plasma Physics

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений. (2018). Хабаршы. Физика сериясы, 2012(1), 28-31. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/676

Осы автордың (немесе авторлардың) ең көп оқылатын мақалалары