ИЗУЧЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК a-Si:H и a-SiC:H

Аннотация

Исследованы оптические и структурные свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния и аморфного карбида кремния. Приведена методика определения оптических характеристик пленок и продемонстрирована ее эффективность для однородных пленок. Показано, что введение в аморфную сетку углерода приводит не только к увеличению оптической ширины запрещенной зоны, но и к возрастанию структурных нарушений в области ближнего и среднего порядка.