Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H

Аннотация

Исследованы морфология и структурные свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния и аморфного карбида кремния. Установлено, что введение углерода в аморфную сетку кремния приводит к уменьшению среднего диаметра островков на поверхности пленок, увеличению шероховатости и к возрастанию нарушений структуры в области ближнего и среднего порядка.